የሙቀት እና የእርጥበት መቆጣጠሪያ ፣ ማጽጃ ክፍል

የሙቀት መጠን እና እርጥበት ቁጥጥር ፣ ማጽጃ ክፍል ፣
,
 

የንጹህ ክፍል የሙቀት መጠን እና እርጥበት በአብዛኛው የሚወሰነው በሂደቱ መስፈርቶች መሰረት ነው, ነገር ግን የሂደቱ መስፈርቶች በተሟሉበት ሁኔታ, የሰዎች ምቾት ግምት ውስጥ መግባት አለበት.የአየር ንፅህና መስፈርቶች ሲጨመሩ, ሂደቱ በሙቀት እና እርጥበት ላይ የበለጠ ጥብቅ መስፈርቶች እንዳሉት አዝማሚያ አለ.

የማሽን ትክክለኛነት እየተሻሻለ በመምጣቱ ለሙቀት መለዋወጫ ወሰን የሚያስፈልጉ መስፈርቶች እያነሱ እና እያነሱ ናቸው.ለምሳሌ በሊቶግራፊ መጋለጥ ሂደት መጠነ ሰፊ የተቀናጀ የወረዳ ምርት፣ በመስታወት እና በሲሊኮን ዋፈር የሙቀት መስፋፋት መካከል ያለው ልዩነት የዲያፍራም ቁስ አካል ትንሽ እና ትንሽ መሆን አለበት።የ100μm ዲያሜትር ያለው የሲሊኮን ዋፈር የሙቀት መጠኑ በ1 ዲግሪ ሲጨምር የ0.24μm መስመራዊ መስፋፋትን ያስከትላል።ስለዚህ, ቋሚ የሙቀት መጠን ± 0.1 ዲግሪ ሊኖረው ይገባል.በተመሳሳይ ጊዜ, የእርጥበት መጠኑ በአጠቃላይ ዝቅተኛ መሆን አለበት, ምክንያቱም አንድ ሰው ላብ ካደረገ በኋላ ምርቱ ሊበከል ይችላል, በተለይም ሶዲየምን ለሚፈሩ ሴሚኮንዳክተር አውደ ጥናቶች, እንደዚህ አይነት ንጹህ አውደ ጥናት ከ 25 ዲግሪ መብለጥ የለበትም.

ከመጠን በላይ እርጥበት ብዙ ችግሮችን ያስከትላል.አንጻራዊው የእርጥበት መጠን ከ 55% በላይ ከሆነ, በማቀዝቀዣው የውሃ ቱቦ ግድግዳ ላይ ኮንደንስ ይከሰታል.በትክክለኛ መሳሪያ ወይም ወረዳ ውስጥ የሚከሰት ከሆነ የተለያዩ አደጋዎችን ያስከትላል።አንጻራዊው እርጥበት 50% በሚሆንበት ጊዜ ዝገቱ ቀላል ነው.በተጨማሪም እርጥበቱ በጣም ከፍተኛ በሚሆንበት ጊዜ በሲሊኮን ቫፈር ላይ ያለው አቧራ በአየር ውስጥ በሚገኙ የውሃ ሞለኪውሎች በኬሚካላዊ መንገድ ይጣበቃል, ይህም ለማስወገድ አስቸጋሪ ነው.አንጻራዊ የእርጥበት መጠን ከፍ ባለ መጠን ማጣበቂያውን ለማስወገድ ይበልጥ አስቸጋሪ ይሆናል, ነገር ግን አንጻራዊ የአየር እርጥበት ከ 30% በታች በሚሆንበት ጊዜ, ቅንጣቶች እንዲሁ በቀላሉ በኤሌክትሮስታቲክ ኃይል ተጽእኖ ምክንያት በመሬቱ ላይ ይጣበቃሉ, እና ብዙ ቁጥር ያለው ሴሚኮንዳክተር. መሳሪያዎች ለመበላሸት የተጋለጡ ናቸው.ለሲሊኮን ዋፈር ምርት በጣም ጥሩው የሙቀት መጠን 35 ~ 45% ነው.የሙቀት እና የእርጥበት መቆጣጠሪያ ለንጹህ አውደ ጥናት ምርት አስፈላጊ ሁኔታ ነው, እና አንጻራዊ የሙቀት መጠን እና እርጥበት በንፁህ አውደ ጥናቶች ወቅት በአብዛኛው ጥቅም ላይ የሚውል የአካባቢ ቁጥጥር ሁኔታ ነው.
የንጹህ ክፍል የሙቀት መጠን እና እርጥበት በአብዛኛው የሚወሰነው በሂደቱ መስፈርቶች መሰረት ነው, ነገር ግን የሂደቱ መስፈርቶች በተሟሉበት ሁኔታ, የሰዎች ምቾት ግምት ውስጥ መግባት አለበት.የአየር ንፅህና መስፈርቶች ሲጨመሩ, ሂደቱ በሙቀት እና እርጥበት ላይ የበለጠ ጥብቅ መስፈርቶች እንዳሉት አዝማሚያ አለ.